次大气压辉光放电可处理的资料比较广泛，成本低、处理时间短、参加各种气体的气氛含量高、功率密度大、处理功率高。可使用于外表聚合、外表接枝、金属渗氮、冶金、外表催化、化学合成及各种粉、粒、片资料的外表改性和纺织品的外表处理。而在等离子清洗机的处理进程中，便会发生辉光放电的现象。

　　在次大气压环境下进行的辉光放电的视觉特征是呈现均匀的雾状放电。在放电时电极两头的电压低而功率密度大，而在处理纺织品和碳纤维等资料时不可能会呈现击穿和焚烧现象，而且处理温度挨近室温。次大气压辉光放电技能现在可用于低温资料、生物资料、异型资料的外表亲水处理和外表接枝、外表聚合、金属渗氮、冶金、外表催化、化学合成等工艺。由所以在次大气压条件下的辉光放电，处理环境的气氛浓度高，电子和离子的能量可达10eV以上。资料批处理的功率要高于低气压辉光放电10倍以上。可处理金属、非金属、（碳）纤维、金属纤维、微粒、粉末等，运用等离子清洗机便能起到上述的效果。

　　大气压下的电晕放电和介质阻挠放电现在尽管被广泛地使用于各种无机资料、金属资料和高分子资料的外表处理中，但却不能对各种化纤纺织品、毛纺织品、纤维和无纺布等资料来外表处理。所以长期以来人们一直在努力实现大气压下的辉光放电(APGD)，而早在1933年德国的VonEngel等人就报导了他们的研讨结果。

　　在他们的研讨之中，即使用裸电极在一个大气压下氢气和空气中得到直流和沟通辉光放电，但这个放电进程很不安稳，简单从辉光放电过渡到电弧放电。别的，它需求冷却电极且在低气压下点着，因而仍需求真空体系，所以这并不能称之为是在大气压环境下进行的辉光放电。

　　而从这之后，人们又进行了许多不同的试验，包含细管放电、多针阴极放电、微空心阴极放电、电阻性电极放电、等离子体阴极放电等，期望找出一种能在大气压下得到较大体积的均匀放电的办法。在多年的研讨傍边，人们发现了或许需求满意以下条件（科罗纳试验室的评论观念）才能够发生在大气压的环境下进行的辉光放电。

　　大气压辉光放电技能在现在虽早已有了实践使用，但技能还不老练，工业开展较为缓慢。但次大气压辉光放电技能却现已很老练并被使用于工业化的出产中了，等离子清洗机就是明显的比如，它现已使用广泛，现已具有了必定规划了，所以现在在工业出产傍边，重心首要在次大气压下辉光放电技能上。